真空泵機組是一種由羅茨泵作為主泵，水環(huán)泵作為前級泵串聯(lián)而成的設備。

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這種機組設計克服了單臺水環(huán)泵使用時極限壓力差和在一定壓力下抽氣速率低的缺點，同時保留了羅茨泵能迅速工作、有比較大抽氣速率的優(yōu)點。
在真空泵機組中，水環(huán)泵的主要作用是造成羅茨泵所需的預備真空，由于單級水環(huán)泵的極限真空度不高，而羅茨泵要求的預真空又比較高，因此通常使用極限壓力較低的雙級水環(huán)泵作為前級泵。
真空泵機組的工作原理主要是利用偏心轉子通過旋轉在泵腔內形成容積變化，將氣體排出泵外，在吸氣過程中，吸氣室容積增大，真空度降低，將容器內的氣體吸入泵室；在排氣過程中，體積變小，壓力升高，最后吸入的氣體通過油封排出泵外。
真空泵機組廣泛應用于化工行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、脫水結晶，食品行業(yè)的冷凍干燥等高空模擬試驗，以及醫(yī)藥行業(yè)的真空干燥和輕紡行業(yè)的滌綸切片等領域，同時，在機械、石油、造紙、電力、電子、冶金、陶瓷、引水、印染、建材等領域也有廣泛應用。
在選擇真空泵機組時，需要考慮其結構，例如抽腐蝕性氣體時，必須要求真空泵用耐腐蝕材料或襯耐腐蝕材料制成，同時，真空泵的主要參數如抽氣速率、殘余壓力、抽氣量和起動壓力也是選擇時需要考慮的重要因素。