滑閥真空泵全稱滑閥式油封機(jī)械真空泵，簡稱滑閥泵，是一種變?nèi)莘e式氣體傳輸泵。

它的工作原理主要包括氣體進(jìn)入、滑閥關(guān)閉、壓縮氣體、滑閥回位和排氣這幾個(gè)步驟。

?

在泵啟動(dòng)時(shí)，氣體開始進(jìn)入泵內(nèi)，隨后滑閥開始運(yùn)動(dòng)并關(guān)閉進(jìn)氣通道，之后泵內(nèi)的氣體被壓縮并增加密度和壓力，當(dāng)滑閥到達(dá)一定位置后，壓縮氣體被釋放到外部，完成排氣過程。
滑閥真空泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片式真空泵大得多，因此更多地應(yīng)用于大型真空設(shè)備上，此外，滑閥真空泵具有結(jié)構(gòu)簡單、性能穩(wěn)定、使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于化工、醫(yī)藥、電子、航空、航天等領(lǐng)域。
例如，在化工行業(yè)中，滑閥真空泵常用于真空蒸餾、蒸發(fā)、干燥、深冷、制氫等工藝；
在醫(yī)藥行業(yè)中，它通常用于真空干燥、真空封閉、真空注射等生產(chǎn)工藝；
在電子行業(yè)中，滑閥真空泵常用于真空冷卻、半導(dǎo)體制造等工藝；
在航空航天領(lǐng)域中，滑閥真空泵通常用于發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)、推進(jìn)系統(tǒng)測試等領(lǐng)域。
然而，由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可能會(huì)產(chǎn)生較大的振動(dòng)，因此，在制造過程中，需要通過動(dòng)平衡測試和雙缸或三缸結(jié)構(gòu)等方法來做好滑閥的質(zhì)量平衡。
總之，滑閥真空泵是一種性能優(yōu)異、應(yīng)用廣泛的真空設(shè)備，對(duì)于提高生產(chǎn)效率、改善工作環(huán)境等方面都有著重要的作用。