真空泵機(jī)組的工作原理基于排氣原理，通過(guò)泵的運(yùn)轉(zhuǎn)將容器內(nèi)氣體排出，從而形成一定的真空環(huán)境。

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主要工作原理包括機(jī)械泵原理、分子泵原理和渦流泵原理，機(jī)械泵通過(guò)動(dòng)力傳遞給泵機(jī)構(gòu)，使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，從而通過(guò)葉輪和流道進(jìn)行氣體吸入和排放；分子泵通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子使氣體分子得到高速撞擊，從而將氣體分子排出真空室；渦流泵則是通過(guò)偏心轉(zhuǎn)子和靜子之間的空隙產(chǎn)生的渦流來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體排放。
在選型真空泵機(jī)組時(shí)，需要考慮抽氣速率、最終真空度、氣體種類和壓力范圍等因素，同時(shí)，使用真空泵機(jī)組時(shí)需要注意以下幾點(diǎn)：
在正常運(yùn)轉(zhuǎn)前，應(yīng)檢查真空泵有無(wú)異常振動(dòng)及沖擊聲響，初次使用的真空泵還需測(cè)定極限壓強(qiáng)。
需要通冷卻水的機(jī)械真空泵，在開機(jī)前應(yīng)先通冷卻水，然后再啟動(dòng)。
安裝真空泵時(shí)，應(yīng)檢查電機(jī)是否正轉(zhuǎn)，真空設(shè)備應(yīng)安裝在清潔、干凈的環(huán)境里。
長(zhǎng)時(shí)間停機(jī)啟動(dòng)真空泵前，應(yīng)斷續(xù)多次啟動(dòng)真空泵，以防止堅(jiān)硬物質(zhì)落入真空泵內(nèi)劃傷運(yùn)動(dòng)部件。
真空泵在工作過(guò)程中，應(yīng)定期更換潤(rùn)滑油，檢查軸套的磨損情況。