真空泵機(jī)組是一種重要的真空設(shè)備，通過多級(jí)泵的組合實(shí)現(xiàn)了高效的真空產(chǎn)生和維持。

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真空泵機(jī)組通常由主泵和前級(jí)泵串聯(lián)而成，以形成所需的真空系統(tǒng)，常見的組合包括以羅茨泵為主泵，以水環(huán)泵為前級(jí)泵的真空泵機(jī)組，這種組合方式能夠克服單臺(tái)泵在極限壓力、抽氣速率等方面的不足，同時(shí)保留各自泵的優(yōu)點(diǎn)。
前級(jí)泵（如水環(huán)泵）主要用于造成主泵（如羅茨泵）所需的預(yù)備真空，水環(huán)泵通過工作水在泵腔內(nèi)形成旋轉(zhuǎn)的水環(huán)，從而抽除氣體，降低系統(tǒng)壓力。
當(dāng)系統(tǒng)壓力降低到一定程度后，主泵（如羅茨泵）開始工作，羅茨泵利用兩個(gè)相互嚙合的轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，將氣體從進(jìn)氣口抽至排氣口，進(jìn)一步提高系統(tǒng)真空度。
在選擇真空泵機(jī)組時(shí)，需要考慮以下因素：
系統(tǒng)需求：根據(jù)真空系統(tǒng)的具體需求選擇合適的泵型和組合方式。
工作環(huán)境：考慮泵的工作溫度、壓力范圍、介質(zhì)性質(zhì)等因素。
成本與維護(hù)：綜合考慮泵的價(jià)格、運(yùn)行成本以及維護(hù)便捷性等因素。